引着一些知情者的目光。他的存在本身,就是一种无声的信号。

    上午的会议结束,人群开始散场。

    常浩南没有立刻离开而是起身,径直走向了正被几位同行围住交流的吴明翰院士。

    “吴院士,您好。”常浩南伸出手,语气平和而尊重。

    吴明翰连忙结束与旁人的谈话,转过身,双手握住常浩南的手:“常院士!您好您好!没想到您也来参会了,刚才的议题……”他以为常浩南是来讨论大会内容。

    常浩南微微一笑,开门见山,却又绕开了刚才大会的焦点:“吴院士,这次来,是想了解下华芯国际在更成熟制程方面的能力。”

    这个说法实在有点太模棱两可,吴明翰用笔帽蹭了蹭头发:“具体是指……哪方面?”

    会场内人多眼杂,再者栗亚波那边的试验也还没个结果,所以常浩南还不准备把自己的成果直接说出来。

    而是换了个角度。

    “我们火炬集团,连同火炬-C.B.法拉利公司,目前正在积极布局智能制造和工业物联网领域。”他提到了自己掌控的资源,“这一块对芯片的需求量巨大,而且跟传统的工控需求不同,这一块对产品性能的要求不亚于消费端。”

    “不知道……华芯国际目前在48nm,以及更精细工艺节点的产能如何?是否能支撑大规模、高性价比的流片需求?”

    吴明翰作为内行人,当然知道再怎么高精尖的工控需求也不太可能跟消费端一样,所以对方的提问大概率是醉翁之意不在酒。

    因此比较委婉地回答道:

    “常院士,智能制造和物联网这块,主要应该是48nm,或者更成熟的65nm、90nm节点,这些算是我们目前产能的主力,良率和稳定性经过多年打磨已经相当不错,成本也有竞争力,但是……”

    他话锋一转,转向另一个角度:

    “您说的‘更精细节点’,如果想通过NXT:1950i这样的深紫外设备制造,那就要结合离轴照明、相移掩模、还有多重曝光这些技术,去强行实现比理论极限更高的分辨率……技术上,我们确实在攻关,也取得了一些成果。”

    常浩南也看出对方是会了意,于是追问:“量产能力和良率如何?”

    吴明翰摇摇头,语气变得沉重起来:“理论上,曝光次数每翻一倍,分辨率就能增加一倍,但实际问题非常大……”

    说到这里他略略加快脚步,和常浩南来到一个稍僻静的地方:

    “一方面,这些技术本身极其复杂,工艺整合还不完全成熟,任何一个环节的波动都会导致失败。另一方面,多重曝光极大地增加了工艺步骤和套刻对准的次数,每一次对准都会引入微小的误差,累积起来,会导致芯片上特征尺寸的均匀性变差,关键尺寸偏差飙升……”

    “总体来说,双重曝光可能可以实现比48nm更高的特征尺寸,但良品率和成本都不太容易控制,产能也就不可能提上去,至于四重曝光……”

    吴明翰脸部肌肉抽动了一下:“理论性能几乎可以对标EUV,不过大概率连一片产品都流不出来。”

    常浩南静静地听着,脸上没有任何惊讶或失望的表情,仿佛早已预料到这个答案。

    他对吴明翰描述的困境不置可否,既没有追问细节,也没有表达看法。只是在吴明翰说完后。

    只是沉默了几秒钟,然后提出了一个让吴明翰更加意外,却又隐隐觉得合情合理的请求:

    “吴院士,您说的我明白了。技术攻关的艰难,我深有体会。”他停顿了一下,“不知是否方便……我想近期亲自去华芯国际的晶圆厂参观一下……不需要特别安排,就看看你们最真实的生产线和工艺现状。”
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