最新网址:www.kushuxs.net
    虽然芯片工厂问题不大,有帝都提供,王逸可以省下几十亿。

    但里面的生产线,光刻机等设备,都要王逸自己解决。

    这些才是最贵的,保守估计后续投入也得一百五十亿起步。

    像是光刻机,2010年阿斯麦就推出了EUV光刻机TWINSCAN NXE:3100。

    前世,2013年阿斯麦又推出EUV光刻机 NXE:3300。

    不过这些先进的EUV光刻机,王逸就不考虑了,不现实,不可能对内地企业出售的。

    前世中芯国际订购了一台EUV光刻机,花了1.2亿美金,钱都付了,最后因为帝国阻挠,阿斯麦也迟迟没有发货。

    相反,内地企业能买到的,也就是落后很多代的DUV光刻机。

    比如2016年出的NXT 1980Di,是前世内地企业买到的最先进光刻机之一,也是中芯国际主力机型。

    更先进的DUV光刻机NXT:2000i,都买不到,更别说NXT:2050i。

    NXT 1980Di原本用于制造300nm-38nm制程,二重曝光后可以达到19nm制程。

    中芯国际,华力等企业,都是用NXT 1980Di二重曝光,量产28-19nm的芯片。

    同样,要用 NXT:1980Di来制造14nm、7nm的芯片,那就得靠多重曝光技术,对厂家的技术要求非常高,量产芯片的成本也很高。

    最初,台积电用NXT:1980Di来制造7nm芯片,效果很不理想,良品率低,成本高,最后还是换上EUV光刻机,才实现了完美的7nm。

    但中芯国际买不到EUV光刻机,只能硬着头皮用NXT 1980Di进行三重曝光,四重曝光,甚至五重曝光。

    幸好梁老能力突出,在多重曝光领域造诣颇深,硬是推出N+1、N+2工艺,用NXT 1980Di这种落后的光刻机,实现了14nm、10nm,甚至7nm。

    梁老的两重曝光技术,不但把中芯国际的28nm良品率从50%提到了90%以上,成本也不会增加太多。

    使得中芯国际的28nm工艺大规模量产,能满足大多数芯片需求。

    14nm需要三重曝光,凭借梁老的技术,良品率和成本也能保证。

    可7nm制程,就要用NXT 1980Di四重曝光,技术方面梁老都能解决,但良品率和成本就不好说了。

    巧妇难为无米之炊。

    拿着NXT 1980Di当EUV3300用,真是太强人所难。

    不过,在国产光刻机突破之前,这也是迫不得已的办法。

    当然,2011年NXT 1980Di还没有发布。

    王逸当下能买到的光刻机型号,是2009年推出的NXT:1950i,和今年刚推出的NXT:1960Bi。

    其实1950i/1960Bi/1970ci/1980Di,这四款光刻机都是同样的光源系统,单次曝光都在38nm以上,多重曝光都能生产28nm、16nm、14nm、12nm,甚至7nm。

    后续的NXT:1960Bi、1970Ci、1980Di,不过是在NXT:1950i进行了部分升级,提高了良品率和精度,本质上相差不大。

    像是三星台积电的未来几年的28nm、22nm、20nm、16nm、14nm、10nm,很多都是用的NXT:1950i!

    毕竟三星、台积电2016年量产10nm芯片的时候,NXT:1980Di光刻机才开始量产!
-->>

本章未完,点击下一页继续阅读