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就爱来小说网 > 科幻小说 > 科技公司,我成国产之光! > 第一百五十一章 48纳米光刻机发力,龙兴X2来袭!
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    “多重曝光技术,顾名思义就是利用多次曝光、刻蚀,得到我们最终想要的电路图案。”

    “举个例子,我们要生产的开天基带芯片,它是28纳米制程,可我们的光刻机是48纳米制程,精度和分辨率远远不够怎么办呢?”

    “最直接的办法是换台光刻机,但我们没有这个条件,这就需要在光掩膜版上下功夫,将原本完整的电路图案给拆开,分为阴阳互补的两块或者四块,这样就得到了两份56纳米间隔的电路图案。”

    “单次曝光是56纳米,48纳米制程光刻机的精度和分辨率是不是就可以进行生产作业了?”

    “这就是多重曝光技术。”

    林天宛如老师给学生上课,教得特别仔细,并且还实操演示了一遍多重曝光技术全过程。

    首席工程师杨方才,以及其他光刻工程师都看呆了。

    这是什么天才想法?

    设备不够,工艺来凑!

    怪不得龙芯国际能够生产14纳米轻舟芯片,原来它们学会了多重曝光技术。

    姗姗来迟的陈永听着林天的无私授课,快步来到陈星面前道:“陈老弟,这次真的太感谢你了。”

    虽说两人都穿着防尘服,看不见具体样貌,但身处听课工程师人群的外围,很容易就能猜到彼此的身份。

    陈星听见是陈永声音,露出抹微笑回应道:“都是国产联盟的,我们就不需要这么客气了,这段时间还要借用老哥你的光刻机呢。”

    “哈哈,是我太见外了。”陈永点了点头,随即继续说道:“陈老弟想用多久用多久,如果有需要的话,我给你也搞两台回来。”

    “陈老哥的好意我心领了,这个以后再谈吧。”

    陈星婉拒道。

    花1亿多买48纳米光刻机,他可没有那么多钱,他宁愿拿去投资光刻工厂。

    不过光刻工厂属于绝密,他也没什么都往外说。

    国产联盟虽好,但人心隔肚皮,要是利益足够大,谁也说不准会不会出现老鼠。

    见陈星婉言相拒,陈永也是个聪明人,没有再多说什么,两人静静地等待芯片产出。

    半小时后。

    一位光刻工程师拿着封装好的开天基带芯片,快步来到陈永和陈星面前道:

    “成了,是28纳米的!”

    “检测清楚了吗?”

    陈永连忙追问。

    如果芯片真是28纳米,那就说明多重曝光技术是真的,他的光刻机变废为宝了!

    “是28纳米的!”

    “切割裸片良率怎么样?”

    “95%!”

    “我们工程师操作的呢?”

    “这个的话…”

    这位工程师欲言又止,陈永今天心情大好,摆了摆手道:“直说就行,你们良率怎么样了?”

    “很低…”

    工程师刚说完,又连忙补充道:“现在除了杨方才首席,其他人都还没完全掌握多重曝光技术,切裸片还有点距离。”

    这时陈星也站了出来,向陈永解释道:“多重曝光技术前期是要投入些成本的,因为些许偏差,整张硅片都会废掉。”

    “整张?”

    陈永倒吸了口凉气。

    目前他们使用的半导体硅片是12寸的,如果失误就报废一张,那相当于学费都是上千块的。

    陈星微微一笑,继续讲解道:“印电路图案和盖公章差不多,如果印错就图案重叠了,重叠的话,整张就会报废掉。”

    盖公章的例-->>

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